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硅片半導(dǎo)體材料拋光用拋光液
所屬欄目：產(chǎn)品中心 作者：小編 發(fā)布時間：2021-12-24 16:52 瀏覽量：
硅片系列拋光液JSY-CM-S800特別適用于各種硅片、砷化鎵、磷化銦、鍺的拋光，具有穩(wěn)定性和分散性良好，去除率高、表面粗糙度小以及對工件無損傷等優(yōu)點。即使在稀釋倍率很高的情況下使用，仍具有很好的拋光效率和使用壽命。
物化指標(biāo)：
項目Item | CM-S700A | CM-S800系列 | CM-S1200 | CM-S1300 | |
CM-S800 | CM-S801 | A組分 | A組分 | ||
名稱Name | 砷化鎵拋光液 | 硅片拋光液 | A組分 | 鍺拋光液 | |
應(yīng)用Application | GaAs晶片 | 硅片 | 磷化鋼晶片 | 鍺片 | |
SiO2含量Content of | 35±5 | 20±2 | 40±2 | 35±5 | 35±5 |
pH (20℃) | 11.0±1.0 | 11.0±1.0 | 11.0±1.0 | 3.0±1.0 | 10.0±1.0 |
比重 Specific graity（kg/L, 20℃) | 1.23-1.235 | 1.12-1.18 | 1.275-1.285 | 1.2-1.3 | 1.2-1.3 |
粒徑 partical size(nm) | 80±10 | 80±10 | 40±10 | 80±10 | 100±10 |
包裝Package (kg) | 5, 25, 1250 | ||||
符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)RoHS complinat | |||||